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Rotary Stage(ARS)
제조사/원산지
R-DEC/JAPAN
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상품상세정보

Rotary Stage(ARS)

각종 진공장치에서 진공중에서 시료의 이동, 위치의 결정이 대기측에서 조작 가능한 복합 스테이지입니다.

 



  • - 圧力10-8Pa이하의 초고진공영역 대응(差動排気:1Pa이하)
  • - 中空型 연속회전스테이지
  • - 각도분해능:0.1°
  • - 회전속도:2rpm이하
  • - 모터구동에도 대응 가능

허용리크량 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
(1Pa이하의 차등배기가 필요)
진공실링방식 UHV 실링 방식
구동방식 웜기어 방식
허용가열온도 ≦200℃
각도분해능 0.1°
회전속도 2rpm ㅇ하




型 式
A接続 Flange
B移動 Flange
C内径
(mm)
D
(mm)
E
(mm)
F差動排気
Flange
G
(mm)
H
(mm)
I
(mm)
重量
(Kg)
ARS-275 ICF70-FT
ICF70-FT
φ39 70 18 ICF34-FT 60 74 68.5 3.2
ARS-4 ICF114-FT
ICF114-FT
φ65 70 89 4.2
ARS-6 ICF152-FT
ICF152-FT
φ105 90 119 96 6.4
ARS-8 ICF203-FT
ICF203-FT
φ155 100 33 120 169.5 174 13.5

 

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