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대구경3축 Manipulator(ALF3)
제조사/원산지
R-DEC/JAPAN
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상품상세정보

大口徑 3축 Manipulator(ALF3)

각종 진공장치에서 진공중에서 시료의 이동, 위치의 결정이 대기측에서 조작 가능한 복합 스테이지입니다.

 


  • - 圧力10-8Pa이하의 초고진공영역 대응
  • - LM型:±12.5mm(0.005mm)
  • - LMS型:±25mm(0.005mm)
  • - 大口径移動 Flange:ICF152、ICF203
  • - 모터구동에도 대응 가능

허용리크량 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
진공실링방식 용접벨로우즈 방식
구동방식 나사식
허용가열온도 ≦200℃ (Micrometer 부분 제외)




型 式
XY軸移動距離
(mm)
XY軸移動精度
(mm)
Z軸移動距離
(mm)
/ Z軸移動精度
(mm)
A接続 Flange
B移動 Flange
C内径
(mm)
D
(mm)
E
(mm)
重量
(Kg)
ALF3-8/6/50LM/H ±12.5
0.005
50 / 0.5 ICF203-FT
ICF152-FH
φ102 250~300 268.5
±12.5
37
ALF3-8/6/100LM/H 100 / 0.5 250~350 38
ALF3-8/6/150LM/H 150 / 0.5 250~400 39
ALF3-8/6/200LM/H 200 / 0.5 250~450 40
ALF3-8/6/250LM/H 250 / 0.5 255~505 41
ALF3-8/6/300LM/H 300 / 0.5 260~560 42
ALF3-8/6/50LMS/H ±25
0.005
50 / 0.5 270~320 298
±25
37
ALF3-8/6/100LMS/H 100 / 0.5 275~375 38
ALF3-8/6/150LMS/H 150 / 0.5 280~430 39
ALF3-8/6/200LMS/H 200 / 0.5 285~485 41
ALF3-8/6/250LMS/H 250 / 0.5 290~540 42
ALF3-8/6/300LMS/H 300 / 0.5 295~595 43
ALF3-8/8/50LM/H ±12.5
0.005
50 / 0.5 ICF203-FT
ICF203-FH
φ152 250~300 268.5
±12.5
39
ALF3-8/8/100LM/H 100 / 0.5 250~350 41
ALF3-8/8/150LM/H 150 / 0.5 250~400 42
ALF3-8/8/200LM/H 200 / 0.5 250~450 43
ALF3-8/8/250LM/H 250 / 0.5 255~505 44
ALF3-8/8/300LM/H 300 / 0.5 260~560 45
ALF3-8/8/50LMS/H ±25
0.005
50 / 0.5 300~350 298
±25
40
ALF3-8/8/100LMS/H 100 / 0.5 305~405 41
ALF3-8/8/150LMS/H 150 / 0.5 310~460 42
ALF3-8/8/200LMS/H 200 / 0.5 315~515 43
ALF3-8/8/250LMS/H 250 / 0.5 320~570 44
ALF3-8/8/300LMS/H 300 / 0.5 325~625 46

 

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