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Sigle-Cell Evaporator AEV-11
제조사/원산지
R-DEC, JAPAN
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상품상세정보

AEV-11   Single-Cell Evaporator


 
 
Characteristics
AEV-11은, 금속이나 반도체의 단원자층 박막의 제작을 목적으로 설계되었습니다.
Rod 형태의 재료를 전자빔으로 가열하여 고순도의 증발이 가능합니다.
도달온도는 Fe,Co,Ni,Ta,W등의 재료를 증발 시키는데 충분한 온도입니다.
 옵션으로 도가니를 준비하고 있기 때문에, Rod 형태 이외의 재료도 증착이 가능합니다.
 내장 플럭스 모니터 기본 장착
  이온게이지와 같은 원리로 증발한 분자의 일부가 필라멘트의 열분자에 의해 이온화 되어,
  그때의 이온전류를 측정하는 것에 의해서 증착 속도를 모니터하는것이 가능합니다.
 AEV-1P-300 전용 컨트롤러와 조합하면 플럭스의 수치 설정에 의해 증착 Rate의
  일정 제어가 가능하고, 표준장착된 빔 가변기구에 의해 증착 영역의 조정을 진공을 깨지
  않고 가능합니다.
Rod 형태의 재료가 증착중에 감소해도 시료이동기구에 의해 초고진공을 깨는 일 없이
  최적의 증착 위치의 설정이 가능합니다.
재료의 교환은 본체를 진공장치에서 분리하지 않고 시료이동기구 하부의 φ34ICF 플랜지에
  의해 간단하게 교환이 가능해 유지보수성이 우수합니다.
 
Specifications
  • Beam adjustment mechanism φ4-20 (at WD = 150mm)
  • Water-cooled shroud (cooling water: < 30 degrees C; 0.5L/min)
  • Manual shutter
  • Wire; Stick (high melting point material); evaporation from the crucible (optional)
  • Temperature: up to 3300 degrees C
  • Standard evaporation rate: a few layers/min
  • Internal flux monitor for deposition control (dedicated power supply unit,
  •   AEV-1P-300  allows evaporation rate control)
  • Linear motion feedthrough to locate the deposition sample (stroke = 30mm)
  • Mountable on φ70 ICF flange (I.D. (internal diameter) must be φ34 or larger)
  • Sample replacement through the φ34 ICF flange

 

Application
  • Forms a high purity mono layer and thin film layers
  • Evaporates various types of samples such as high melting point metals
  •   (wire or stick) and samples in a crucible.
  • Forms mono-layer and multi-layer MBE
  • Sub mono-layer and thin-film layer deposition controlled by in ternal flux monitor

 

AEV-11 Option
  • Crucibles
  • Usable Hydrogen atoms with AEV-H set
  • Available for L-size

 

 

 

AEV-1P-300  Power Supply




Characteristics
 AEV-1P-300은 AEV-11, AEV-3 Evaporator 전용으로 설계된 컨트롤러입니다.
 AEV-11, AEV-3과 조합해서 사용하면 메뉴얼 조작에 의한 컨트롤은 물론 플럭스 모니터를
 사용한 Rate controller에 의해 자동제어도 가능합니다.
 Controll range는 7 range로 구성되어 Rate controller이 폭넓게 대응하는것이 가능하고,
  플럭스 모니터의 EXT출력을 모니터함으로써 증착 조건의 기록이 가능합니다.
 Gun 본체에 있는 온도모니터를 이용한 안전회로를 설치하여 안심하고 사용할 수 있습니다.




Specifications
  • Dimensions: 480(W) x 100(H) x 500(D), requires 600(D) for installation
  • Power Supply: AC100V-5A
  • Output: 300W (1kV/300mA)
  • Filament Output: DC15V-6A
  • Flux Monitor: 7 ranges (10nA -10mA) manual switch feature; ±10V monitor EXT output feature
  • Temperature Monitor: Indicator with alarm
  • Interlock:
      Internal: Temperature monitor  to avoid excessive high temperature
      External: No-voltage contact


AEV-1P-300 Outline Drawing

480 (W) x 149 (h) x 500 (D) (JIS rack type)





 

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