고속반사전자회절법은 박막결정 성장 기술의 발전과 함께 결정화 평가의 현장 관찰 수단으로서 필수적인
것으로 되어 있습니다.
RHEED은 일반적으로 10 ~ 30KeV 정도의 전자선을 시료 표면에 1~2도 정도의 얕은 입사각으로 입사시켜
전자의 파동성으로 인한 결정 격자의 회절된 전자선을 마주한 스크린에 투영시켜 결정 표면 구조를 조사하
는 방법입니다.
[ 특 징 ]
연구원이 쉽게 조작 할 수 있도록 개발 및 설계되어 있습니다.
- 원격 제어박스에는 시스템의 모든 작동 매개 변수를 안전하고 효율적으로 제어하면서 화면에서 관찰되는
회절 이미지를 쉽게 확인할 수 있도록 가속전압, 방출 전류미터가 포함되어 있습니다.
- 필라멘트 교체 및 빔 정렬을 포함한 손쉬운 유지 보수를 위해 설계되었으며, Run-to-Run에서 필요한
미세 조정이 필요하지 않습니다.
- 외부 제어 커넥터를 사용하여 RHEED의 고전압, 필라멘트 및 XYZ 렌즈를 변경할 수 있습니다.
- 전자총의 내부에서 생성된 아웃가스는 내부에 표면처리를 함으로써 낮아집니다.
- kSA400 RHEED 사진, 영상 해석시스템과 호환.
30KeV ELECTRON GUN
Model Number |
RDA-004G |
Beam Spot Size |
90micro meter dia. Maximum |
Filament |
0.1mm dia. Tungsten Wire (hairpin-shaped) |
Wehnelt |
Self Bias |
Focus Lens |
Air Core Solenoid Coil Lens |
Deflection Lens |
Toroidal Coil Lens |
Axial Alignment Mechanism |
Alignment for Filament and Wehnelt |
Insulation Voltage |
DC30KV |
Working Pressure |
<10-4Pa to 10-9Pa |
Max. Bakeout Temperature |
200 degrees C |
Mounting Flange |
ICF70 |
Dimensions |
100mm dia. x 401mm long (501mm long with a connector inserted) |
30KeV E-GUN POWER SUPPLY
Model Number |
RDA-004P |
Acceleration Voltage |
0 to -30KeV Constant Voltage Supply ( Ripple 0.03% Maximum) |
Beam Current |
0 to 160 micro ampere |
Filament Voltage |
0 to 5V Constant Voltage Supply (Ripple 0.05% Maximum) |
Filament Current |
Max. 2A |
Deflection Lens Supply |
1A Constant Current Source(plus or minus1V) |
(Ripple 0.05% Maximum) |
Focus Lens Supply |
0 to 1.5A Constant Current Source(0 to 22V) |
(Ripple 0.05% Maximum) |
Input Power |
200V, 220V, 230V, 240V |
Dimensions |
480mm x 199mm x 500mm (cable +100mm) |
Safety Feature |
High Voltage Interlock |
Others |
RoHS-ready |
* RHEED 해석 프로그램 소프트웨어가 필요하시면 문의 바랍니다.
장비와 같이 공급 가능합니다.
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